一、火災(zāi)危險(xiǎn)性分類
      《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》（GB50073）把潔凈廠房的火災(zāi)危險(xiǎn)分為甲、乙、丙三類。
      醫(yī)藥工業(yè)潔凈廠房中的醫(yī)藥制劑、原料藥及藥用輔料等化學(xué)藥劑種類繁多，而集成電路芯片等工業(yè)生產(chǎn)也使用多種化學(xué)試劑和特殊氣體，根據(jù)生產(chǎn)所需的原料、工藝、輔助介質(zhì)的不同，結(jié)合生產(chǎn)特點(diǎn)，潔凈廠房的火災(zāi)危險(xiǎn)性應(yīng)按照《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB50016確定，分為甲、乙、丙、丁四類，如下表。當(dāng)同一座廠房或廠房的任一防火分區(qū)內(nèi)有不同火災(zāi)危險(xiǎn)性生產(chǎn)時(shí)，該廠房或防火分區(qū)內(nèi)的生產(chǎn)火災(zāi)危險(xiǎn)性分類應(yīng)按火災(zāi)危險(xiǎn)性較大的部分確定。
二、建筑材料及其燃燒性能
潔凈廠房的耐火等級不應(yīng)低于二級
      1、無塵車間的頂棚和壁板（包括夾芯材料）應(yīng)為不燃燒體，且不得采用有機(jī)復(fù)合材料。頂棚的耐火極限不應(yīng)低于0.4h，疏散走道頂棚的耐火極限不應(yīng)低于1.0h。
      2、在一個(gè)防火區(qū)內(nèi)的綜合性廠房，其潔凈生產(chǎn)與一般生產(chǎn)區(qū)域之間應(yīng)設(shè)置非燃燒體隔墻封閉到頂。隔墻及其相應(yīng)頂板的耐火極限不應(yīng)低于1小時(shí)，隔墻上的門窗耐火極限不應(yīng)低于0.6h。穿過隔墻或頂板的管線周圍空隙應(yīng)采用非燃燒材料緊密填塞。
      3、技術(shù)豎井井壁應(yīng)為非燃燒體，其耐火極限不應(yīng)低于1h。井壁上檢查門的耐火極限不應(yīng)低于0.6h；豎井內(nèi)在各層或間隔一層樓板處，應(yīng)采用相當(dāng)于樓板耐火極限的非燃燒體作水平防火分隔；穿過水平防火分隔的管線周圍空隙，應(yīng)采用非燃燒材料緊密填塞。
      4、無塵凈化車間的地面材料的燃燒性能應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑內(nèi)部裝修設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB50354的規(guī)定：甲、乙類生產(chǎn)區(qū)應(yīng)采用A級材料，同時(shí)應(yīng)滿足不發(fā)火、防靜電的要求。丙、丁類廠房應(yīng)采用不低于B2級的材料。
三、防火分區(qū)和分隔
      為縮短管線距離、減少能耗、提高土地利用率、有利于生產(chǎn)管理，醫(yī)藥工業(yè)制劑廠房通常將生產(chǎn)、倉儲(chǔ)、配套公用工程及生產(chǎn)管理、質(zhì)監(jiān)中心有機(jī)組合在一棟綜合建筑體中。在建筑設(shè)計(jì)時(shí)，應(yīng)按不同的生產(chǎn)功能、使用功能來劃分不同的防火分區(qū)。
一）一般要求
      甲、乙類生產(chǎn)的潔凈廠房，宜采用單層廠房。其防火墻間大允許占地面積，單層廠房應(yīng)為3000┫，多層廠房應(yīng)為2000┫。丙、丁、戊類生產(chǎn)的潔凈廠房其防火分區(qū)大允許建筑面積應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB50016的規(guī)定。每一防火分區(qū)的建筑面積、安全出口、疏散距離均應(yīng)滿足規(guī)范要求。

二）其他要求
      1、防火分區(qū)之間應(yīng)采用防火墻分隔。單層廠房（甲、乙類除外）如建筑面積超過上述規(guī)定，設(shè)置防火墻有困難時(shí)，可用防火卷簾并加噴淋保護(hù)進(jìn)行分隔。
      2、丙、丁、戊類生產(chǎn)廠房當(dāng)噴淋保護(hù)等級以嚴(yán)重危險(xiǎn)級設(shè)置時(shí)，其防火分區(qū)可擴(kuò)大一倍。
      3、丁、戊生產(chǎn)廠房安裝自動(dòng)滅火系統(tǒng)時(shí)．防火分區(qū)面積不限，如局部安裝自動(dòng)滅火系統(tǒng)時(shí)，增加面積可按該局部面積的一倍計(jì)算。
      4、無塵車間的技術(shù)夾層與其直接服務(wù)的生產(chǎn)區(qū)域視為同一防火分區(qū)。大型集成電子廠房的回風(fēng)夾層可計(jì)入潔凈廠房的防火分區(qū)面積。有害菌體、病毒、放射性物料，以及其他不能使用水作為滅火劑滅火的工位區(qū)域應(yīng)設(shè)置防火分隔單元。
      5、在一個(gè)防火分區(qū)內(nèi)，其潔凈生產(chǎn)與非潔凈生產(chǎn)區(qū)域之間應(yīng)設(shè)置非燃燒體隔墻完整分隔。隔墻應(yīng)為耐火極限不低于1.00h的不燃燒材料。當(dāng)隔墻上設(shè)置觀察窗時(shí)，窗的耐火極限不應(yīng)低于0.9h。穿過隔墻或樓板的管線周圍空隙應(yīng)采用非燃燒材料緊密填塞。
四、安全疏散設(shè)施
      潔凈廠房的特點(diǎn)是生產(chǎn)人員崗位固定，熟悉工作場所，熟悉疏散路線，有利于人員的安全疏散。一般來說，潔凈廠房設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)注意合理組織疏散路線、合理設(shè)置安全出口，使平面復(fù)雜的無塵車間滿足安全疏散要求。
一）安全出口
      為保證安全疏散的可靠性，潔凈廠房每一生產(chǎn)層、每一防火分區(qū)或每一潔凈區(qū)的安全出口的數(shù)量，均不應(yīng)少于兩個(gè)。安全出口應(yīng)分散均勻布置，從生產(chǎn)地點(diǎn)至安全出口不用經(jīng)過曲折的人員凈化路線。潔凈廠房符合下列要求時(shí)，可設(shè)置一個(gè)安全出口。
      1、甲、乙類生產(chǎn)廠房每層的總建筑面積不超過50┫，且同一時(shí)間內(nèi)的生產(chǎn)人員總數(shù)不超過5人。
      2、丙類生產(chǎn)區(qū)的建筑面積不超過250┫，且同一時(shí)間內(nèi)生產(chǎn)人數(shù)不超過20人時(shí)。
      3、丁類生產(chǎn)區(qū)的建筑面積不超過400┫，且同一時(shí)間內(nèi)生產(chǎn)人數(shù)不超過30人時(shí)。
      潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)和潔凈區(qū)與室外相通的安全疏散門應(yīng)向疏散方向開啟。安全疏散門不得采用吊門、轉(zhuǎn)門、側(cè)拉門以及電控自動(dòng)門。
二）疏散距離
      潔凈廠房的疏散距離應(yīng)滿足《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB50016的要求。潔凈廠房內(nèi)遠(yuǎn)工作地點(diǎn)或潔凈區(qū)疏散口到外部出口或樓梯的距離應(yīng)符合相關(guān)要求。
      丙類生產(chǎn)的電子工業(yè)潔凈廠房，在關(guān)鍵生產(chǎn)設(shè)備自帶火災(zāi)報(bào)警和滅火裝置以及回風(fēng)氣流中設(shè)有靈敏度嚴(yán)于0.01％obs／m的高靈敏度早期火災(zāi)報(bào)警探測系統(tǒng)后，安全疏散距離可按工藝需要確定，但不得大于以上規(guī)定的安全疏散距離的1.5倍；對于玻璃基板尺寸大于1500m×1850mm的TFT-LCD廠房，且潔凈生產(chǎn)區(qū)人員密度小于0.02人／┫，其疏散距離應(yīng)按工藝需要確定，但不得大于120m。
三）疏散樓梯
      潔凈廠房各疏散樓梯均應(yīng)出屋面，樓梯間的首層設(shè)置直接對外的出口。當(dāng)疏散樓梯在首層無法設(shè)置直接對外的出口，應(yīng)設(shè)置直通室外的安全通道（如有開向安全通道房間的門應(yīng)為乙級防火門），安全通道內(nèi)設(shè)置正壓送風(fēng)。
四）疏散通道
      部分潔凈廠房的平面布置因潔凈度要求，每一工序都在單獨(dú)的較小的空間內(nèi)進(jìn)行，使平面布置錯(cuò)綜復(fù)雜。轉(zhuǎn)折的生產(chǎn)流線和多重進(jìn)出房門影響了人員安全疏散的時(shí)間。疏散通道的設(shè)置是保證潔凈廠房安全疏散的重要措施。在醫(yī)藥工業(yè)制劑廠房中，疏散走道的確定應(yīng)盡量結(jié)合工藝要求，將工藝中已采取防火分隔措施的主通道作為安全疏散通道。
      對于潔凈區(qū)域相對較大的制劑生產(chǎn)廠房，人、物流通道往往由兩部分組成，即潔凈區(qū)外部的人、物流通道及潔凈區(qū)內(nèi)部的人、物流通道。潔凈區(qū)各個(gè)生產(chǎn)用房往往由內(nèi)部通道相連以滿足不同的生產(chǎn)工序的需要，這些內(nèi)部通道同時(shí)也作為潔凈區(qū)人員的安全疏散路線，通過安全疏散門與外部非潔凈通道相連，人員通過外部通道到達(dá)室外安全出口或疏散樓梯間。建筑平面設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)合理構(gòu)筑人員安全疏散體系，潔凈區(qū)外部通道盡可能環(huán)通，達(dá)到多向疏散的目的，盡可能避免袋型走道，同時(shí)也有利于消防撲救。
五）消防口
      消防口是消防人員為滅火而進(jìn)入建筑物的入口，平時(shí)封閉，火災(zāi)時(shí)由消防人員從室外打開。潔凈廠房通常是個(gè)相對封閉的空間，一旦發(fā)生火災(zāi)，給消防撲救帶來困難。潔凈廠房與潔凈區(qū)同層外墻應(yīng)設(shè)可供消防人員通往廠房潔凈區(qū)的門窗，其洞口間距大于80m時(shí)，在該段外墻的適當(dāng)部位設(shè)置消防口。消防口的寬度不小于750mm，高度不小于1800mm，并應(yīng)有明顯標(biāo)志。樓層消防口應(yīng)設(shè)置陽臺(tái)，并從二層開始向上層架設(shè)鋼梯。
      潔凈廠房外墻上的吊門、電控自動(dòng)門以及寬度小于750mm、高度小于1800mm或裝有柵欄的窗，均不應(yīng)作為火災(zāi)發(fā)生時(shí)提供消防人員進(jìn)入廠房的入口。
五、消防設(shè)施配置
      由于潔凈廠房的建筑造價(jià)及工藝設(shè)備都比較昂貴，發(fā)生火災(zāi)帶來的直接和間接的經(jīng)濟(jì)損失都十分慘重，因此建立行之有效的消防保障體系是潔凈室建造和運(yùn)行必須解決的重要問題。目前被廣泛使用于潔凈廠房的滅火設(shè)施有：室內(nèi)外消火栓系統(tǒng)，自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)和滅火器。另外，還應(yīng)根據(jù)具體的條件和要求，有針對性地選用其他必要的消防設(shè)備，如氣體滅火系統(tǒng)等。
一）室內(nèi)外消火栓系統(tǒng)
      潔凈廠房設(shè)置的室內(nèi)、外消火栓系統(tǒng)應(yīng)符合現(xiàn)行規(guī)范的要求。潔凈廠房室、內(nèi)外消防給水可采用高壓、臨時(shí)高壓或低壓給水系統(tǒng)，如采用高壓或臨時(shí)高壓給水系統(tǒng)，管道的壓力應(yīng)保證用水量達(dá)到大且水槍在任何建筑物的高處時(shí)，水槍的充實(shí)水柱仍不小于10m；如采取低壓給水系統(tǒng)，管道的壓力應(yīng)保證滅火時(shí)不利點(diǎn)消火栓的水壓不小于10m水柱（從地面算起）。潔凈廠房的消火栓的設(shè)置尚應(yīng)符合下列規(guī)定：
      1、潔凈室（區(qū)）的生產(chǎn)層及上下技術(shù)夾層（不含不通行的技術(shù)夾層），應(yīng)設(shè)置室內(nèi)消火栓。
      2、室內(nèi)消火栓的用水量不應(yīng)小于10L/S，同時(shí)使用水槍數(shù)不應(yīng)少于2支，水槍充實(shí)水柱不應(yīng)小于10m，每只水槍的出水量不應(yīng)小于5L/S。
      3、潔凈廠房室外消火栓的用水量不應(yīng)小于15L/S。
二）自動(dòng)滅火設(shè)備
      1、自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)
      目前，自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)已成為潔凈廠房消防系統(tǒng)的首要選擇配置。設(shè)置在潔凈室或潔凈區(qū)的自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)，宜采用預(yù)作用自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)。自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)的設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)的《自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50084的要求。按照《自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50084的要求，其噴水強(qiáng)度一般不宜小于8.0L／（min.┫），作用面積不宜小于160┫。
      2、其他滅火設(shè)施
      除設(shè)置水滅火系統(tǒng)之外，在SiH4配送區(qū)域應(yīng)當(dāng)設(shè)置直接作用于各個(gè)氣瓶的水噴霧系統(tǒng)，該系統(tǒng)的動(dòng)作信號應(yīng)當(dāng)來自感光探測器，如在遠(yuǎn)離建筑物的區(qū)域設(shè)計(jì)的開放式配送系統(tǒng)且采取了有效措施減輕爆轟影響后，可以不設(shè)置水噴霧系統(tǒng)。另外目前較為廣泛使用的還有二氧化碳、IG541、三氟甲烷和七氟丙烷等潔凈氣體滅火系統(tǒng)。
三）火災(zāi)自動(dòng)報(bào)警系統(tǒng)
      潔凈廠房應(yīng)設(shè)置火災(zāi)自動(dòng)報(bào)警系統(tǒng)及消防聯(lián)動(dòng)控制，其防護(hù)等級應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《火災(zāi)自動(dòng)報(bào)警系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50116的有關(guān)規(guī)定。當(dāng)防火分區(qū)面積超過現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB50016規(guī)定的大建筑面積允許值時(shí)，保護(hù)等級應(yīng)為一級。硅烷儲(chǔ)存、分配間（區(qū)）應(yīng)設(shè)置紅外線-紫外線火焰探測器。潔凈生產(chǎn)區(qū)、走道和技術(shù)夾層（不包括不通行的技術(shù)夾層）應(yīng)設(shè)置手動(dòng)報(bào)警按鈕和聲光報(bào)警裝置?？刂圃O(shè)備的控制及顯示功能應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《火災(zāi)自動(dòng)報(bào)警系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50116的有關(guān)規(guī)定。
      火災(zāi)自動(dòng)報(bào)警系統(tǒng)的設(shè)計(jì)在滿足現(xiàn)行規(guī)范要求的同時(shí)，還應(yīng)根據(jù)潔凈廠房的特殊要求合理選擇，充分優(yōu)化。下面以醫(yī)藥類潔凈廠房和電子類潔凈廠房等為例進(jìn)行說明。
1、醫(yī)藥類潔凈廠房火災(zāi)自動(dòng)報(bào)警系統(tǒng)的設(shè)計(jì)
      醫(yī)藥潔凈廠房生產(chǎn)區(qū)應(yīng)設(shè)置火災(zāi)探測器，生產(chǎn)區(qū)與走道還應(yīng)設(shè)置手動(dòng)火災(zāi)報(bào)警按鈕。高活性藥物生產(chǎn)潔凈室由于生產(chǎn)過程中使用或產(chǎn)生致敏性藥物、生物活性藥物或一般致病菌，容易造成污染，因此設(shè)置在該類潔凈室內(nèi)的火災(zāi)自動(dòng)報(bào)警裝置設(shè)備應(yīng)具備密閉性、耐用性、高靈敏度和表面光潔的特點(diǎn)。點(diǎn)式探測器可選用溫感探測器或火焰探測器，如需要煙感探測器，建議選用紅外光束型線型感煙探測器。對于安裝在吊頂或夾層內(nèi)比較隱蔽的電纜或電氣設(shè)備發(fā)熱可能導(dǎo)致的火災(zāi)的探測，可選用纜式線型感溫探測器。探測器可直接接觸或鄰近被探測目標(biāo)安裝，及早發(fā)現(xiàn)火災(zāi)隱患。
2、電子類潔凈廠房火災(zāi)自動(dòng)報(bào)警系統(tǒng)的設(shè)計(jì)
      電子潔凈廠房應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝布置和公用動(dòng)力系統(tǒng)的裝備情況設(shè)置火災(zāi)報(bào)警裝置。潔凈生產(chǎn)區(qū)、技術(shù)夾層、機(jī)房、站房等均應(yīng)設(shè)火災(zāi)探測器，其中潔凈生產(chǎn)區(qū)、技術(shù)夾層應(yīng)設(shè)智能型探測器。在潔凈室（區(qū)）空氣處理設(shè)備的新風(fēng)或循環(huán)風(fēng)的出口處宜設(shè)火災(zāi)探測器。當(dāng)廠房內(nèi)防火分區(qū)面積超過現(xiàn)行規(guī)定要求時(shí)，在潔凈室內(nèi)凈化空調(diào)系統(tǒng)混入新風(fēng)前的回風(fēng)氣流中應(yīng)設(shè)置高靈敏度早期報(bào)警火災(zāi)探測器。當(dāng)潔凈室（區(qū)）頂部安裝探測器不能滿足《火災(zāi)自動(dòng)報(bào)警系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50116要求時(shí)，在潔凈室內(nèi)凈化空調(diào)系統(tǒng)混入新風(fēng)前的回風(fēng)氣流中應(yīng)設(shè)置高靈敏度早期報(bào)警火災(zāi)探測器。
3、潔凈廠房內(nèi)特種氣體和化學(xué)品泄漏探測系統(tǒng)
      潔凈廠房由于使用了多種易燃、易爆、毒性和腐蝕性氣體以及易燃、易爆、腐蝕性溶劑。其中任何一種氣體和溶劑泄漏都會(huì)帶來很大的火災(zāi)危害、設(shè)備毀壞或人員傷害，因此在各易燃、易爆和腐蝕性特種氣體間、氣瓶柜內(nèi)部、溶劑間、溶劑輸送柜內(nèi)部、SUBFAB、閥門箱和生產(chǎn)區(qū)均應(yīng)按輸送介質(zhì)以及介質(zhì)危險(xiǎn)性的不同安裝不同類型、不同靈敏度的探測器，常用的探測器有電化學(xué)探測器、真空泵抽氣式探測器、UV／IR探測器等。

四）防煙排煙
1、防煙設(shè)施
      鑒于潔凈廠房建筑結(jié)構(gòu)封閉的特點(diǎn)，設(shè)置有效的防煙設(shè)施有利于保證火災(zāi)時(shí)人員的疏散。當(dāng)疏散樓梯間布置在建筑的外墻側(cè)，可以采用可開啟外窗進(jìn)行自然排煙。當(dāng)疏散樓梯布置在建筑內(nèi)部或樓梯間有潔凈要求不具備自然排煙條件時(shí)，應(yīng)設(shè)置機(jī)械加壓送風(fēng)系統(tǒng)。機(jī)械加壓送風(fēng)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)應(yīng)符合國家有關(guān)消防技術(shù)規(guī)范和標(biāo)準(zhǔn)。潔凈避難區(qū)設(shè)置的機(jī)械加壓送風(fēng)系統(tǒng)一般利用新風(fēng)空調(diào)機(jī)組進(jìn)行加壓，火災(zāi)時(shí)，維持避難區(qū)正壓，正壓值相對于相鄰區(qū)域?yàn)?5-30Pa。
2、排煙系統(tǒng)
      丙類廠房中建筑面積大于300┫地上潔凈室和建筑面積大于200┫的地下潔凈室應(yīng)設(shè)排煙設(shè)施。潔凈廠房疏散走道應(yīng)設(shè)置機(jī)械防排煙設(shè)施。目前潔凈室設(shè)計(jì)的排煙形式主要有上排煙模式、上排煙和下排煙相結(jié)合模式、利用回風(fēng)通道設(shè)置排煙風(fēng)機(jī)進(jìn)行排煙形式、排煙風(fēng)機(jī)兼作火災(zāi)時(shí)排煙形式。潔凈廠房每個(gè)防煙分區(qū)的排煙支管上均應(yīng)設(shè)置排煙防火閥，排煙口采用常開型風(fēng)口。排煙風(fēng)機(jī)入口處設(shè)置280℃關(guān)閉的排煙防火閥，并與排煙風(fēng)機(jī)連鎖。為維持潔凈室內(nèi)部空氣壓力，服務(wù)于凈化區(qū)域內(nèi)的排煙系統(tǒng)管路上應(yīng)采用低泄漏的排煙閥和排煙防火閥。排煙口宜采用低泄漏常閉型板式排煙口，在排煙風(fēng)機(jī)入口處采用低泄漏常閉型排煙防火閥并能接受消防中心的信號自動(dòng)開啟閥體。潔凈室機(jī)械防排煙系統(tǒng)宜與通風(fēng)、凈化空調(diào)系統(tǒng)合用但必須采取可靠的防火安全措施，并應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB50016的要求。
五）滅火器配置
      潔凈廠房內(nèi)各場所應(yīng)配置滅火器，并應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑滅火器配置設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50140的有關(guān)規(guī)定。滅火器的配置，其關(guān)鍵在于正確選擇和使用滅火劑。滅火劑選擇時(shí)，應(yīng)考慮配置場所的火災(zāi)類型，滅火劑的滅火能力，對保護(hù)對象污損程度，使用的環(huán)境溫度以及滅火劑之間、滅火劑與可燃物的相容性。在潔凈室內(nèi)通常不宜選用化學(xué)干粉滅火劑、泡沫滅火劑等滅火后會(huì)對工藝設(shè)備和潔凈室環(huán)境產(chǎn)生一定污染和腐蝕作用的滅火劑。二氧化碳滅火劑滅火后*跡．不污損、腐蝕保護(hù)物品，在潔凈室內(nèi)得到普遍使用。
六）疏散標(biāo)志和應(yīng)急照明
      潔凈廠房內(nèi)應(yīng)設(shè)置供人員疏散用的應(yīng)急照明。在安全出口、疏散口和疏散通道轉(zhuǎn)角處應(yīng)按現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)設(shè)置疏散標(biāo)志，在消防撲救口處應(yīng)設(shè)置紅色應(yīng)急照明燈。
六、氣體管道的安全措施
      潔凈廠房氣體管道的干管，應(yīng)敷設(shè)在上、下技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)，當(dāng)與水、電管線共架時(shí)，應(yīng)設(shè)在其上部。與本房間無關(guān)的管道不應(yīng)穿過。氣體管道應(yīng)按不同介質(zhì)設(shè)明顯的標(biāo)識(shí)。
      各種氣瓶庫應(yīng)集中設(shè)置在潔凈廠房外。當(dāng)日用氣量不超過1瓶時(shí)，氣瓶可設(shè)置在潔凈室內(nèi)，但必須采取不積塵和易于清潔的措施。
一）可燃?xì)怏w報(bào)警裝置和事故排風(fēng)裝置
      可燃?xì)怏w易燃易爆，危險(xiǎn)性大，可能發(fā)生燃燒爆炸事故，而且發(fā)生事故時(shí)波及面廣，危害性大，造成的損失嚴(yán)重，下列部位應(yīng)設(shè)可燃?xì)怏w報(bào)警裝置和事故排風(fēng)裝置，報(bào)警裝置應(yīng)與相應(yīng)的事故排風(fēng)機(jī)聯(lián)鎖：
      1、甲類火災(zāi)危險(xiǎn)生產(chǎn)的氣體入口室。
      2、管廊，上、下技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)有可燃?xì)怏w管道的易積聚處。
      3、潔凈室內(nèi)使用可燃?xì)怏w處。
二）管道安全技術(shù)措施
      1、可燃?xì)怏w管道應(yīng)設(shè)下列安全技術(shù)措施：
      1）接至用氣設(shè)備的支管和放散管，應(yīng)設(shè)置阻火器。
      2）引至室外的放散管，應(yīng)設(shè)防雷保護(hù)設(shè)施。
      3）應(yīng)設(shè)導(dǎo)除靜電的接地設(shè)施。
      2、氧氣管道應(yīng)設(shè)下列安全技術(shù)措施：
      1）管道及其閥門、附件應(yīng)經(jīng)嚴(yán)格脫脂處理。
      2）應(yīng)設(shè)導(dǎo)除靜電的接地設(shè)施。